結構

1. **爐體**：雙層鋼板殼體，夾層風冷，爐殼表面溫度低；爐門法蘭 + 高溫密封圈，高溫款常配水冷爐門，保證氣密性。

2. **爐膛**：高純氧化鋁多晶纖維 / 莫來石耐火材料，不掉粉、抗熱震；方形腔體，裝卸料方便。

3. **加熱元件**

   - ≤1200℃：鐵鉻鋁電阻絲

   - 1200~1400℃：硅碳棒

   - 1400~1700℃：硅鉬棒（主流高溫燒結）

4. **氣氛 / 真空系統**：真空泵（機械泵，可選分子泵升級高真空）、質量流量計 / 浮子流量計、進氣排氣閥、壓力表；可多路進氣。

5. **溫控系統**：PID 可編程儀表 / 觸摸屏，多段升溫保溫曲線，**控溫精度 ±1℃**；帶超溫、斷偶、過流、壓力超限、氣體泄漏聯鎖保護。

工作流程（標準燒結工藝）

1. 裝料，鎖緊爐門，密封；

2. **預抽真空 + 氣氛置換**：抽真空，反復充放保護氣，把爐膛氧含量降到 ppm 級別；

3. 維持**微正壓**持續通氣，防止外界空氣倒灌；

4. 按程序升溫→保溫燒結（坯體顆粒擴散、致密化）；

5. 氣氛保護下降溫，**溫度降至安全溫度后泄壓開爐**（嚴禁高溫開門，極易氧化、炸爐膛）。