穩(wěn)定優(yōu)勢（對比臥式管式爐）

1. **爐管受力好，壽命更長**

爐管豎直，只有軸向重力，**無橫向彎矩**，剛玉 / 石英管不容易彎、裂；長時間恒溫、負(fù)壓真空工況，密封法蘭受力均勻，氣密性更穩(wěn)定，減少頻繁漏氣返修。

2. **氣體流向順暢**

氣流上下垂直流動，粉體、揮發(fā)物不易沉積在管壁，溫場上下均勻，適合氣相沉積、流化床熱解。

3. **可集成提拉 / 淬火機構(gòu)**

可加裝電動升降樣品臺，高溫樣品直接快速下降到低溫區(qū) / 冷卻槽，實現(xiàn)**快速淬火**，臥式爐很難實現(xiàn)。

4. **占地小**，立式堆疊，實驗室空間利用率高；可選對開式爐體，檢修加熱元件方便。

5. **溫控系統(tǒng)穩(wěn)定**

獨立 PID 可編程控溫，抗溫漂，長時間保溫時沖溫小，工藝重復(fù)性好。

 標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)參數(shù)（分溫度檔位）

1200℃立式管式爐（常用）

- 最高溫：1200℃，長期工作≤1100~1150℃

- 加熱元件：鐵鉻鋁電阻絲；K 型熱電偶

- 爐膛：高純氧化鋁陶瓷纖維，雙層爐殼風(fēng)冷，外殼低溫

- 爐管：石英管 Φ40/60/80mm；腐蝕樣品升級剛玉管

- 溫控：30 段程序 PID，控溫精度 ±1℃

- 真空：旋片泵，極限真空 - 0.095MPa；可升級分子泵

- 氣氛：N?、Ar 惰性氣體；選配防爆組件可用 H?

- 升溫速率：0~20℃/min，推薦≤10℃/min

1400℃立式管式爐

- 最高溫 1400℃，長期≤1300℃；硅碳棒加熱，S 型鉑銠熱電偶；標(biāo)配 99 剛玉管

 1700℃立式管式爐（超高溫款）

- 最高 1700℃，長期≤1600~1650℃；硅鉬棒加熱，B 型雙鉑銠熱電偶；水冷上下法蘭，高純 99.5 剛玉管

溫區(qū)：單溫區(qū) / 雙溫區(qū)；雙溫區(qū)上下獨立控溫，構(gòu)建垂直溫度梯度，適合 CVD 氣相合成