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更新時間:2026-08-21
瀏覽次數:59真空系統:通過機械泵、擴散泵或分子泵將爐內氣壓抽至低真空(10?1 Pa)至高真空(10?3 Pa)甚至更高,消除氧化等不良反應。
加熱系統:采用電阻絲、硅碳棒或硅鉬棒等加熱元件,通過電流加熱使爐膛溫度達到預設值(通常為室溫至1600℃或更高),熱量主要以輻射方式傳遞給樣品。
溫度控制:配備高精度PID溫控儀,可編程設置升溫速率、保溫時間和降溫曲線,控溫精度可達±1℃。
| 部件 | 說明 |
|---|---|
| 爐體/爐膛 | 采用高純氧化鋁纖維、氧化鋯纖維等耐高溫保溫材料,減少熱損失 |
| 爐管 | 常用石英管(≤1200℃)、剛玉管(≤1600℃)或不銹鋼管,耐高溫、耐腐蝕 |
| 加熱元件 | 均勻分布在爐管周圍,確保溫度均勻性 |
| 真空系統 | 機械泵、真空閥門、真空計等,實現高真空環境 |
| 氣氛系統 | 氣體管道、流量計、閥門等,控制氣體種類和流量 |
| 安全系統 | 超溫保護、漏電保護、過壓保護等多重保護機制 |
